氦检的核心功能是通过对微小泄漏的精准捕捉和量化，精准评估设备或系统的密封性能是否满足设计要求。

真空箱氦检，是真空箱式氦质谱检漏技术，是一种高精度的密封性检测方法。其核心原理是利用氦气作为示踪气体，通过高灵敏度的氦质谱检漏仪在真空环境下检测氦气的浓度，从而判断工件是否存在泄漏以及泄漏率的大小。

真空箱氦检的工作原理：

将被检件充满氦气，放置在的真空腔体内，如有泄漏，氦气会因压力差泄漏到真空箱中，被检漏仪实时检测，从而判断泄漏及泄漏率。此方法具有高灵敏度、高重复性、易于校准、高产量等特点，便于集成到生产线。适用于电子元件、小型容器、管路接头等中小型零部件的密封性检测，尤其适合形状复杂、不便直接外部喷氦的部件。

具体工作流程：

放置工件与抽真空：

操作者将待检测的工件（如汽车零部件、电池壳体、液冷板等）放入真空箱内，并将工件的接口与真空箱内的快速接头连接。关闭真空箱门后，系统启动真空泵组，对真空箱内部抽取真空，达到一个高真空状态。

充氦检漏：

抽真空后，系统向工件内部充入一定压力的氦气，如果工件存在漏孔，在巨大压差的作用下，氦气会迅速从漏孔泄漏到真空箱中。

氦质谱检漏仪通过管道与真空箱相连，持续监测真空箱内的气体成分。

结果输出与氦气回收：

系统将检测到的漏率与预设的合格标准阈值进行比较，自动判定工件“合格”或“不合格”。

检测完成后，氦气回收系统回收工件内部的氦气，然后向真空箱内充入大气，打开箱门，取出工件。

氦气回收系统的主要功能：

为待检测工件精准充入氦气(满足检漏所需压力与浓度)。

通过专用设备对检测后的氦气进行回收，减少资源浪费。

实时监控系统内及工件周边的氦气浓度。

当氦浓度低于设定阈值时，系统自动补充氨气，维持检测条件。

HOLS和利时自控在自动化生产线中集成氦检测试系统，工艺包含产品检漏、本底测试和氦气回收。氦气回收系统技术成熟，对工件充氦气和氦气回收，实时监测氦浓度与氦压力，且氦气回收率高，长期运行过程中故障率低，保障检漏流程连续顺畅。系统成熟可靠，氦气回收率高，可以极大的降低氦气的使用成本，更大程度实现降本增效。