一文读懂玻璃微熔压力传感器
浏览量:2024-10-11 浏览量:280

玻璃微熔压力传感器,是一种采用玻璃微熔技术来实现微小尺寸和高精度压力测量的传感器。

基于MEMS微熔技术,采用高温烧结工艺将硅应变计与不锈钢结构结合,形成高精度的压力测量元件。该技术通过测量玻璃微熔膜在受压时的变形程度来确定压力大小,具有较高的灵敏度和稳定性。

 

玻璃微熔压力传感器,在汽车制造领域主要用于汽车车身及舒适系统、底盘及制动系统、动力及传动系统都有应用,比如EMB 轮毂刹车力传感器、EHB 线控刹车压力传感器、液压悬架压力传感器、CO2 热泵压力传感器等。

 

玻璃微熔压力传感器有哪些优点

高精度:采用半导体应变计,实现高灵敏度输出,微功耗。过载能力和温度范围宽。

稳定性好:不锈钢整体结构,无“O”型圈密封,无泄漏隐患,有良好的稳定性,可以在使用过程中长期保持稳定的测量性能。

抗干扰能力强:适应高压力过载,能有效抵御瞬间压力冲击,有效抵抗外界干扰信号的影响,确保测量结果准确可靠。

批量可靠性、重复性:玻璃微熔工艺可实现自动贴片(高温烧结粘贴),适合大批量的生产,更有经济性能。

 

玻璃微熔压力传感器的工作原理基于MEMS技术:

采用硅应变计,通过高温烧结与不锈钢膜片结合为一体。当不锈钢膜片的另一侧受到气体或液体的压力时,膜片产生微小的形变。形变引起膜片上烧结的硅应变计电阻发生变化,进而形成一个与压力成正比的电压输出。电桥的差动输出经过温度补偿及归一化处理,再经过信号放大处理,转换为工业用的标准信号(4~20mA0~5V),以适应工业使用环境。

随着工业自动化和物联网技术的不断发展,对传感器精度和稳定性的要求越来越高,玻璃微溶压力传感器作为高精度、高稳定性的压力测量元件,其市场需求和应用领域正在不断扩大。


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